1.本文涉及一種真空釬焊材料及其使用的加熱器釬焊方法。例如陶瓷加熱器。

更具體地說，本發(fā)明應(yīng)用不同的焊接材料、溫度、惰性氣體和真空度用于加熱器的釬焊。

2.相關(guān)技術(shù)說明 在半導(dǎo)體制造設(shè)備的制造工藝中，用于加熱半導(dǎo)體晶片的加熱器用于半導(dǎo)體薄膜的成膜工藝、蝕刻工藝、抗蝕劑膜的烘烤工藝等。

陶瓷加熱器因其優(yōu)異的溫度可控性以及對半導(dǎo)體器件布線小型化和提高晶圓熱處理溫度精度的需求而得到廣泛應(yīng)用。

已經(jīng)使用了多種技術(shù)來改善執(zhí)行這些功能的陶瓷加熱器的性能。

其中一種技術(shù)是釬焊，它是當(dāng)今快速工業(yè)發(fā)展過程中應(yīng)用最廣泛的連接技術(shù)之一，特別是在航空航天，汽車，制冷和空調(diào)，家用電器中，在本發(fā)明的前半部分被廣泛使用并且被廣泛使用，因為它們可以與不同的金屬零件焊接，甚至可以與不同的尺寸粘接，并且比其他粘接方法具有相對強(qiáng)的焊接強(qiáng)度并可以獲得美觀精致的焊接部件技術(shù)。

將詳細(xì)描述傳統(tǒng)陶瓷加熱器的釬焊技術(shù)。首先，將要釬焊的產(chǎn)品放入腔室并關(guān)閉門。然后，在腔室中形成約760托或數(shù)十托至幾百托的真空，用于在泵和工作腔之間形成真空的連接管用閥門關(guān)閉，以便不再形成真空，然后使用加熱元件從腔室外部加熱到預(yù)定溫度， 使用將氫氣（H2）氣體注入腔室的方法以防止雜質(zhì)進(jìn)入腔室。

然而，釬焊到這種傳統(tǒng)的陶瓷加熱器上存在諸如由于外部空氣進(jìn)入腔室和注入氫氣以防止雜質(zhì)流入和施加到腔室的真空度而在陶瓷加熱器表面發(fā)生裂紋缺陷（白化現(xiàn)象）等問題。

這個問題是制造半導(dǎo)體缺陷的嚴(yán)重原因，因此必須加以糾正。